Introduction
はじめに
当社は光学技術を応用した光学機器のソリューションを開発製造しており、主に液晶デスプレイ、有機EL、半導体、リチウム電池、フィルム業界の塗膜表面欠陥検査計測システムに採用されております。
これらの光計測のノウハウは技術者の４０年の開発実績及び大学研究機関との交流のもとになされたものであり、長年のシステム経験により多くの提携企業とともにシステム製作の実績もあります。
独自性の高い顧客のニーズに合ったセンサー応用機器の提案をモットーとしており、皆様のご支援をよろしくお願いいたします。
営業内容
- 光応用センサーの開発、設計、製作
- 光センサーシステムの開発、設計、製作
Product
製品情報
レーザスキャナー
共焦点型、散乱型、切断型（傷、打痕、スクラッチ、異物）
レーザスキャナー（デスクトップ型）
レーザスキャナー（装置組み込み型）
測定例
サファイア基板 ナノ傷
SIC基板 微細傷
フイルムミクロ 凹み
CMOS基板 異物
カメラチップ内 異物
金属板 凹み
膜厚み・段差形状測定機
段差、干渉、濃度の３方式による膜厚み測定
高速パターン膜段差計
範囲 10nm~2μm 2秒タクト
白色干渉計
分光干渉膜厚計
濃度計（透過型膜厚計）
測定例
セラミック上電極厚 720nm
液晶CF表面形状
FDP表面平坦度
画像検査システム AOI
CMOSムラ検査装置
ラインセンサーカメラ／FOUPIロードポート／タクト40WPH
OLEDマスク欠陥検査装置
ラインセンサーカメラ／LD光源暗視野照明／タクト30WPH
パターン高さ形状測定機
白色干渉方式／パターン高さ、背幅、膜厚／8inch 多孔質エアー吸着
測定例
レジスト ムラ
CMOS ムラ
CMOS異物
CMOS 傷
インプリント 異物
シート・フィルム・ガラス検査機
インラインAOI装置
欠陥、厚みムラの検査
シート、フィルム検査、長尺シート、フィルムのキズ、異物、変色などの検査。
塗布ムラ検査
FPDの各工程における塗布膜検査から、完成品の灯検査に至るまでの各種ムラの検査。
パタン検査
COF、フォトマスク、FPD周辺回路などのパタン欠陥や異物、変色の検査。
インライン膜厚計
光干渉方式の高精度インライン膜厚計です。トラバ－ス機構を有し、幅方向の厚み分布を測定します。
- ライン速度 60m/min
- 測定方式 分光干渉方式
- 測定範囲 1～60μm
- 測定分解能 0.01μm
大型マスク分光測定装置
マスク基板の分光透過率、反射率及び３波長濃度の測定を行います。
- 基板サイズ 2600×2100mm
- 測定点 最大260点自動測定
- 基板保持 縦型、側面押え手動
- 測定波長 300～780nm
- 筐体寸法 H3000×W5800×D1600mm
基板上塗布膜欠陥検査装置
フイルム基盤塗布ムラ検査装置
国内OEM請負・韓国Nexstar社 製造協業
Company
会社情報
商号
株式会社 アイテーオー
住所
〒175-0094 東京都板橋区成増1-26-5 トレジャリィ成増201
電話
03-6909-2985
FAX
03-6909-2986
資本金
1,000万
代表者
伊東 隆
取引会社
大日本印刷、日本電波工業、三井化学工業、サムソンSDI、他